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一 URE-2000S/A8 型双面光刻机
1.主要技术参?/span>
曝光面积? 英寸
曝光波长?65nm 15mW/cm
405nm?5-30mW/cm2
分辨力：1mm
对准精度?#177;2 mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.8mm（单面）
掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm?mm
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>l
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>?0 倍?6 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-200mm
照明不均匀性：5%＇/span>200mm 范围（/span>
掩模相对于样片运动行程：
X?#177;5mm; Y?#177;5mm; q?#177;6 ?/span>
**胶厚?00 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）
光源平行性：2
具有?/strong>?/strong>水冷却系绞/strong>
汞灯功率?000W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
2．外形尺寸：1400mm（长）?200mm(? ?000mm（高（/span>
3．设备构成与配置明细
设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底 CCD 对准系统、电?/span>
系统、气动控制系统及辅助配套设备构成、/span>
?）曝光头系统包括９/span>
。冷光椭球镜
?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风?
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片?/span>
场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台系统包括９/span>
。掩模样片相对运动台（XY（/span>
。转动台?#952;（/span>
。样片自动调平机枃/span>
。样片调焦机构l
。承片台 4 ? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模架 4 ? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模翻转及旋转机构
?）对准显微镜（可选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括９/span>
。LED 照明及配套电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 及光学成像系绞/span>
XYZ 底面寸/strong>准工件台＇/strong>丣/strong>套）
?）底 CCD 对准系统
。LED 照明及配套电溏/span>
。CCD 及光学成像系?2 ?
。数据采集卡
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?2 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附件（选配（/span>
。真空泵一台（无油静音型）
。空压机一台（无油静音型）
。恒温循环水冷却系统
。管遒/span>
二 URE-2000S/A 垊/strong>友/strong>面光刻机
1.主要技术参?/span>
曝光面积? 英寸
曝光波长?65nm 20mW/cm
405nm?0-35mW/cm2
分辨力：1mm
对准精度?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.8mm（单面）
掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm?mm
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口7
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>?0 倍?6 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围（/span>
3%＇/span>150mm 范围（/span>
掩模相对于样片运动行程：
X?#177;5mm; Y?#177;5mm; q?#177;6 ?/span>
**胶厚?00 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）
光源平行性：2
具有?/strong>?/strong>水冷却系绞/strong>
汞灯功率?000W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
2．外形尺寸：1400mm（长）?200mm(? ?000mm（高（/span>
3．设备构成与配置明细
设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底 CCD 对准系统、电?/span>
系统、气动控制系统及辅助配套设备构成、/span>
?）曝光头系统包括９/span>
。冷光椭球镜
?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风?
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片?/span>
场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台系统包括９/span>
。掩模样片相对运动台（XY（/span>
。转动台样片自动调平机构
。样片调焦机枃/span>
。承片台 4 ? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸?
。掩模架 4 ? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模翻转及旋转机构
?）对准显微镜（可选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括９/span>
。LED 照明及配套电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 及光学成像系绞/span>
。XYZ底面寸/strong>准工件台＇/strong>丣/strong>套）
?）底 CCD 对准系统
。LED 照明及配套电溏/span>
。CCD 及光学成像系?2 ?
。数据采集卡
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?2 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附件（选配（/span>
。真空泵一台（无油静音型）
。空压机一台（无油静音型）
。恒温循环水冷却系统
。管遒/span>
?）技术资斘/span>
。设备使用及维护说明?/span>
三 URE-2000S/B 垊/strong>友/strong>面光刻机
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸
曝光波长?65nm 25mW/cm
405nm?0-40mW/cm2
分辨力：1mm
对准精度?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.8mm（单面）
掩模尺寸 3 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm--6mm
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>10
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>?0 倍?6 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围（/span>
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
**胵/strong>厚：600mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：2
具有?/strong>?/strong>水冷却系绞/strong>
汞灯功率?000W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
2．外形尺寸：1400mm（长）?200mm(? ?000mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)：/span>
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场
镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机枃/span>
。承片台 3 ? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 3 ? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模抽拉式上下机构
?）对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源（配备 2 只）、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）11
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 光学系统
?）底 CCD 对准系统
。光源（配备 2 只） 电源
。成像光学系?2 ?
。双通道数据采集占/span>
。CCD（两套）
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统（监视器 21 英寸宽屏液晶（/span>
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。无油静音真空泵一?/span>
。无油静音空压机一?/span>
。恒温循环水冷却系统
。管遒/span>
四 URE-2000S/25A 垊/strong>友/strong>面光刻机
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸
曝光波长?65nm９/span>
功率密度：＞25mW/cm2
分辨力：1mm
正面友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>
旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>**倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800
倍，?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倍；?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
正面立式友/strong>CCD寸/strong>准系绞/strong>，光?/strong>放大?.65-4.5 倍；其/strong>备侧向光溏/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
对准精度?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.8mm（单面）
掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸：：2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm--2mm(双面)
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围（/span>
4%＇/span>150 mm 范围?3
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
汞灯功率?50W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
**胵/strong>厚：350mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：3.5
2．外形尺寸：1300mm（长）?00mm(? ?800mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台 4 个（2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 4 个（3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模抽拉式上下机构
?）双目双视场对准显微镜（ CCD，目镜和监视器可同时观测（/span>
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。立式双 CCD 光学对准系统 14
。侧向对准光溏/span>
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
五 URE-2000S/25 型双面光刻机
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸
曝光波长?65nm 40mW/cm
405nm?0-45mW/cm2
分辨力：1mm
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
对准精度?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.6mm（单面）
掩模尺寸 3 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm--2mm(双面)
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性： 3%＇/span>100mm 范围?6
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
汞灯功率?50W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
**胵/strong>厚：350mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：3.5
2．外形尺寸：1300mm（长）?00mm(? ?800mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台 3 个（2 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 3 个（3 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模抽拉式上下机构
?）双目双视场对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）17
。CCD 光学系统（选配件）
。XYZ 底面对准工件?/span>
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
六 URE-2000S/35L（A）型双面光刻朹/span>
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸
源：紫外 LED
曝光波长?65nm 10-25mW/cm
分辨力：1mm
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
对准精度?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.6mm（单面）
掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm--2mm ＋/span>
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性：2.5%＇/span>100mm 范围?9
3% f150 mm 范围（/span>
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
**胵/strong>厚：400mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：2
2．外形尺寸：1300mm（长）?00mm(? ?800mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
。LED迚/strong>口光溏/strong>
。冷却模坖/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2?strong>能力调节器、微先/strong>?/strong>整形元件
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台 4 个（2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 4 个（3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模抽拉式上下机构
?）双目双视场对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）20
。XYZ 底面对准工件?/span>
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
七 URE-2000S/35L（B）型双面光刻朹/span>
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸
源：紫外 LED
曝光波长?65nm?0-40mW/cm2
分辨力：1mm
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
对准精度?#177;2 mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.6mm（单面）
掩模尺寸? 英寸? 英寸? 英寸
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸
厚度 0.1mm--2mm(双面)
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性： 2.5%＇/span>100mm 范围?2
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
谂/strong>平接触压力這/strong>过传感器俜/strong>?/strong>里/strong>夌/strong>
?/strong>孖/strong>讽/strong>宙/strong>寸/strong>凅/strong>闳/strong>隙和曝光闳/strong>隘/strong>
其/strong>备压印模坖/strong>接口，也其/strong>夆/strong>接近樠/strong>坖/strong>接口
**胵/strong>厚：400mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：2
2．外形尺寸：1300mm（长）?00mm(? ?800mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
。LED迚/strong>口光溏/strong>
。冷却模坖/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2?strong>能力调节器、微先/strong>?/strong>整形元件
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台 3 个（2 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 3 个（3 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模抽拉式上下机构
?）双目双视场对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）
。XYZ 底面对准工件?3
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
?）技术资斘/span>
。使用维修说明书
。显微镜使用说明?/span>
八 URE-2000S/25S 垊/strong>友/strong>面光刻机
1．技术参?/span>
曝光面积? 英寸（或 6 英寸（/span>
曝光波长?65nm 40mW/cm
405nm?0-40mW/cm2
分辨力：1mm
正面寸/strong>准采?/strong>友/strong>?/strong>双视场对凅/strong>昽/strong>?/strong>镛/strong>９/strong>旡/strong>可這/strong>迆/strong>?/strong>镛/strong>?/strong>视对准，也可這/strong>迆/strong>CCD+昽/strong>示器寸/strong>准，先/strong>?/strong>合像，光?/strong>*
大倌/strong>?/strong>400倍，先/strong>?/strong>+甴/strong>子放 800 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
?/strong>镛/strong>丈/strong>寸/strong>? 倍?0 倍?0 倌/strong>
底面靡/strong>寸/strong>准：采用双显微物?CCD+采集?计算机合像，?/strong>镜轴距范図/strong>10mm-148mm
对准精度?#177;2.5mm（双面，片厚 0.8mm（/span>
0.6mm（单面）
掩模尺寸 3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
样片尺寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置 25
厚度 0.1mm--2mm
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性： 3%＇/span>100mm 范围（/span>
5% f150 mm 范围（/span>
掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; q: 6 ?/span>
汞灯功率?50W（直流，迚/strong>叢/strong>（/span>
**胵/strong>厚：350mm（SU8胵/strong>，用戶/strong>提供检测条件）
光源平行性：3.5
2．外形尺寸：1300mm（长）?000mm(? ?800mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头（两套）
。冷光椭球镜
?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
。掩模夹? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
?）双目双视场对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）26
。XYZ 底面对准工件?/span>
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
暂无数据
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