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日立Hitachi 离子溅射 MC1000
特点９/strong>
。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配?
。记忆功能可存储常用加工条件
规格９/strong>
| 项目 | 说明 | |
|---|---|---|
| 放电９/span> | 类型９/span> | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁? |
| 电极组成９/span> | 反向平行?嵌入磁铁) | |
| 电压９/span> | ** 0.4 kV DC(直流可变) | |
| 电流９/span> | ** 40 mA DC | |
| 喷镀速率*1(**)９/p> [条件]９/p> 压力? Pa 放电电流?0 mA 标靶与样品表面之间的距离?0 mm |
Pt ?选配?９/span> | 15 nm/min |
| Pt-Pd ?选配?９/span> | 20 nm/min | |
| Au ?选配?９/span> | 35 nm/min | |
| Au-Pd ?选配?９/span> | 25 nm/min | |
| 样品尺寸９/span> | **直径９/span> | 60 mm |
| **高度９/span> | 20 mm | |
| 机械泵： | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2９/sup> | Pt Pt-Pd (8:2) Au Au-Pd (6:4) | |
| 电源要求９/span> | 单相 100 V AC (10%) 15 A (50/60 Hz) 3-针插头线?3 m) | |
| 尺寸９/span> | 宽度９/span> | 450 mm |
| 长度９/span> | 391 mm | |
| 高度９/span> | 390 mm | |
| 重量９/span> | 主机：约 25 kg 机械泵： 28 kg |
|
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