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108Auto是一款结构紧凑的离子溅射镀膜仪,它可以手动或者自动操作,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜、/span>
主要特?/strong>
自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和**的导电喷镀效果、/p>
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损、/p>
操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制、/p>
在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果+/p>
通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程、/p>
可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程、/p>
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率?*的镀膜效果、/p>
技术参?/strong>
| 溅射系统 | |
| 样品室大導/strong> | 直径120mmx 120mm髗/strong>(4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶为标配 Au:Pd Pt Pt:Pd (选件(大小:直?7mm x 0.1mm厙/td> |
| 样品?/strong> | 可以装载12?/strong>SEM样品座,高度可调范围丹/strong>50mm |
| 溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁,可调,电?0?0?0?0mA,程序化数字控制 |
| 溅射夳/strong> | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩 |
| 模拟计量 | 真空 Atm - 0.001mbar |
| 厚度监控 (选件) |
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过稊/td> |
| 控制方法 | 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(5,/strong>300s),自动放气.整个操作亦可全手动控制、/strong> |
| 真空系统 | |
| 真空泴/strong> | 2级直连式高速真空泵 |
| 抽气速率 | 3.0 m3/小时 ,真空度 0.1mb所需时间30? |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 |
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