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技术优势：
1 清洗功率可调节：0 to 99 watts：/p>
2 操作压力可调节：from 2 torr to 1 mTorr：/p>
3 清洗速度快；
4 无需破真空进行清洗，实现原位清洗：/p>
5 即插即用设计方案，无需集成：/p>
6 采用从上到下清洗模式，降低对样品的损伣/p>
7、微量等离子激发，消除清洗和成像交换之间的图像形成的迟滞现象；
8、扩展性好，可配用各类台式电镜、透射电镜原位清洗以及样品清洗使用
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