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现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100、/p>
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子?span>*1,可以获得高稳定的束流、/p>
通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220? kV条件下分辨率提高?.9 nm,Regulus8100的分辨率提高?.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右、/p>
此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去?00万倍提升到200万倌span>*1、/p>
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器?*性能、/p>
*1
仅限Regulus8240/8230/8220
特色
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析?*性能
与现有机型相比分辨率提高?0%左史/p>
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仒/p>
运用能量过滤?选配),可观察到多种成分对比度*2
样品:金颗粒
着陆电压:10 V
样品:Pt催化剁/p>
加速电压:30 kV
样品:Sn琂/p>
着陆电压:1.5 kV
*2
仅限Regulus8240/8230/8220
规格
| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次电子分辨玆/th> | 0.8 nm (加速电?5 kV(/p> 1.1 nm (着陆电? kV(span>*3 |
0.7 nm(加速电 15 kV(/p> 0.9 nm(着陆电 1 kV(span>*3 |
|||||
| 着陆电厊/th> | 0.1? kV | 0.01?0 kV | |||||
| 放大倍率 | 20??00?00倌span>*4 | 20??00?00倌span>*4 | |||||
| 样品?/th> | 样品台控刵/th> | 3轴马达台(可?轴马达台(/td> | 5轴马达驱?/td> | ||||
| 移动范围 | X | 0?0 mm | 0?0 mm | 0?10 mm | 0?10 mm | ||
| Y | 0?0 mm | 0?0 mm | 0?10 mm | 0?0 mm | |||
| R | 360 | ||||||
| T | -5?0 | ||||||
| Z | 1.5?0 mm | 1.5?0 mm | |||||
| 再现?/th> | - | - | - | 0.5 m以下?#177;0.5 m | |||
*3
减速模式下观察
*4
?27 mm 95 mm底片为基准的倍率
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