产品特点

SONIX Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于 bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具�?*的检测性能。提高生产效率和产量，使� ECHO 的设备和软件

• 容易的设置和使用

• 工艺过程监测

• 合格/失效分逈�/p>

• 专业认证

SONIX 扫描探头频率范围� 10MHz � 300MHz，适合各种类型的应用和材料、�/span>

其它关键特点９�/strong>

• 减少实验室空间（占地面积小）

• 键盘快捷键（方便移动操作（�/p>

• 全焊接机身框架（促进平台稳定性）

• 降低水槽高度（人体工程学设计（�/p>

• 可同时进行反射扫描和透射扫描

• ** 360 度可觅�/p>

• 超大扫描面积

• 水槽底部倾斜（易于排干水（�/p>

• 探头� Z 轴移动（取代托盘上下移动（�/p>

• 可滑动支枵�/p>

• 符合欧洲机械指令

• 紧凑、稳定的结构设计（低维护（�/p>

• 符合 CE，SEMI S2，NRTL

• 可滑动的电气面板（方便维护）

• 防静电涂层（安全罩、水槽、门等）

规格参数９�/strong>

扫描轴（X 轴）９�/strong>

• 定位装置� 线性伺服马辽�/p>

• **速度�?000mm/sec

• 重复精度�?/-0.5um

• 编码器分辨率�?.5um

• **扫描区域�?50mm

步进轴（Y 轴）９�/strong>

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马辽�/p>

• 分辨率：0.25um

• **扫描区域�?50mm

聚焦轴（Z 轴）９�/strong>

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马辽�/p>

• 分辨率：0.25um

• **行程�?0mm

夹具９�/strong>

• JEDEC 标准尺寸托盘夹具

• 扫描平台可固定特有的托盘夹具

• 透射杆探头固宙�/p>

机台尺寸９�/strong>

• W31”xD31”xH48’�?约长 79cm*� 79cm*� 122cm)

流体系统９�/strong>

• 循环泵和 5um 过滤�?/p>

超声波仪�?/strong>

• DPR500 接收� 配置 L2/H4 脉冲发生�?/p>

• 可� U4 超高频脉冲发生器

其它９�/strong>

• 带脚轮的摆放桋�/p>

• 紧急开关和安全�?/p>

• 较低的取放样品区埞�/p>

其它特色软件功能选项

• TAMI SCAN: 一次扫描得�?� 200 张断层图僎�/p>

• ICEBERG: 强大的离线分析技�?/p>

• WinIC Pro: 增加功能和分枏�/p>

• WinIC Offiline：远程分枏�/p>

• Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器

ECHO 机台面板� WinIC 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC 软件� Sonix 公司**研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供先进的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通、�/span>

SONIX 软件优势

� 可编程扫描，自动分析 定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数�?/span>

� FSF表面跟踪纾�/strong> 样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片

� ICEBERG离线分析 存储数据后，可在个人电脑上进行再次分枏�/span>

� TAMI断层显微成象扫描 无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，*快速完成分析、�/span>

SONIX 软件 - 应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功胼�/span>