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俄罗?/span>样本
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技术参数:在大气环境下:扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接?非接?/横向力显微镜/相位成像/力调?力谱?粘附力成?磁力显微?静电力显 微镜/扫描电容显微?开尔文探针显微?扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+?/压电力模?超声原子?外加磁场/温度控制/气氛控制等功能、/span>
在液体环境下:原子力显微?接触+半接?非接?/横向力显微镜/相位成像/力调?粘附力成?力谱/刻蚀:
测量头部:AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头
扫描方式:样品扫描、针尖扫描、双扫描
**样品尺寸:样品扫描:直径40mm,厚?5mm。针尖扫描:样品无限
XY样品定位装置:移动范?5um,精?um
扫描范围?0909um(带传感?闭环控制),可选配低电压模式实现原子级分辨
XY方向非线性度:≤0.5%(带传感?闭环控制
Z方向噪音水平(带?000Hz时的RMS值):闭环控制扫描器(典型?.04nm?*0.06nm(/span>
光学显微系统:配备高数值孔径物镜后,分辨率可由3um提升?um
样品温度控制:室温~300
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