一�产品应用９�/span>

JS-1600M型磁控溅射仪是依据二�?DC)直流溅射原理设计而成的，*简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作、�/span>

二�配置及技术指标：

1.本系统装配了水冷即�/span>磁控靶，靶面直径丹�span>50mm

2.主机规格９�span>L360mm*W300mm*H380mm

3.靶（上部电极）：金：直径９�span>50mm，厚度：0.1mm

4.真空样品室： 直径９�span>160mm，高９�/span>120mm

5.溅射面积���50mm

6.真空指示表： **真空度：�4X10-2 mbar

7.离子电流表： **电流９�span>100mA

8.定时器： *长时间：3600S

9.微型真空气阀� 可连�?#966;3mm软管

10.可通入气体� 多种

11.**电压�-1600 DCV

12.机械泵：2L/S

三�产品特点

1.轻便、溅射面积大

2.可以溅射铂、金及银等金屝�/span>

3.溅射效率高，可水冷降�?/span>