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产品型号 |
小型粉末PVD包覆系统VTC-16PW |
产品特点 |
1?/span>可对粉体材料进行表面包覆:采用磁控溅射,溅射时粉体材料在振动样品台上翻滚,达到粉体表面均匀包覆 2?/span>设备小巧可在手套箱内使用,可处理样敏感性材斘/span> |
技术参?/span> |
1、输入电压:220 VAC 50/60Hz 2、电源输凹1600 VDC 250 W 3?*电流?50 mA . 4、溅射头?英寸角度可调节溅射头 5、振动样品台9/span> 样品台振动频率可调节?-33Hz 样品台直径为50mm 建议样品野 < 500 mg 建议颗粒尺寸: 1 ~ 1000um 石英腔体尺寸?65 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H 6、真空度9/span> ?.0E-2 Torr(采用机械泵),可溅射Au Ag Pt Cu Mo等靶 1.0E-5 Torr(采用分子泵),可溅射Al Mg Li Lr Ti Zn等易氧化金属?*真空度可达到< 4.0E-6 Torr(分子泵系统抽时?2小时,腔体进行烘烤) 7、CE认证 |
产品规格 |
外形尺寸:长460?30?10mm 净重:20Kg |
注意事项 |
警告9/span> 1、溅射头与高压电源相连接,操作时必须佩带防护手套 2、溅射前必须确保靶材,溅射头,基片和样品台清洁,需要用砂纸和乙醇来清洗,Al或是Ni靶每次使用时都必须清洗和处理 注意:粉末样品必须干燥和分散 |
暂无数据
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