VTC-600-3HD三靶磁控溅射�?参数-价格-中国粉体罐�/title>

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沈阳科晶自动化设备有限公号�/a>

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} }); function showliuyan(me, showtype){ if(showtype==0){ //$("#Content").val($("#Content").attr('placeholder')); Content= document.getElementById('PopMsgFrom').Content.getAttribute('placeholder'); document.getElementById('PopMsgFrom').Content.value=Content; } if(showtype==1){ // $("#Content").val($(me).text()); alert($(me).text()); document.getElementById('PopMsgFrom').Content.value=$(me).text(); } $(".fxp").css("display","flex"); } function close_popwin(){ $(".fxp").css("display","none"); // 关闭虚拟电话后的留言� $(".dhxj").css("display","none"); $(".dhxjbox").css("display", "none"); $(".dhxjbox2").css("display", "none"); return false; } </script>  <div class="cpjs"> <div class="cpjs_tab"> <div class="js_cpjj" style="border-bottom: 3px solid #1479d7; color: #1479d7;">产品介绍</div> <div class="js_cxd">创新炸�/div> <div class="js_xgfa">相关方案</div> <div class="js_xgzl">相关资料</div> <div class="js_yhpl">用户评论</div> <div class="js_gsdt">公司动�?/div> <div class="js_wsj">问商宵�/div> </div> <script> $(function(){ // 切换 $(".cpjs_tab a").click(function(){ $(".cpjs_tab a").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }); }); </script>  <div class="cpjj"> <p><span>VTC-600-</span>3<span>HD</span>三靶磁控溅射仪是新自主研制开发的镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等、�span>VTC-600-</span>3<span>HD</span>三靶磁控溅射仪配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，其不仅应用广泛，且具有体积小便于操作的优点，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备，特别适用于实验室研究固态电解质叉�span>OLED</span>等、�/span></p><table cellspacing="0" cellpadding="2" border="1" bordercolor="#f2f2f2" width="100%"><tbody><tr><td><p><strong><span>�?span>�?/span></strong><span><strong><span>名称</span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>VTC-600-</span>3<span>HD</span>三靶磁控溅射�?/span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>产品型号</span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>VTC-600-</span>3<span>HD</span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>安装条件</span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>本设备要求在海拔<span>1000m</span><span>以下，温�?/span><span>25�?#177;15ℂ�/span><span>，湿�?/span><span>55%Rh��10%Rh</span><span>下使用、�/span></span></p><p><span>1<span>、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）</span></span></p><p><span>2<span>、电９�/span><span>AC220V</span><span>50Hz<span>，必须有良好接地</span></span></p><p><span>3<span>、气：设备腔室内需</span><span>兄�/span><span>注氩气（纯度<span>99.99%</span><span>以上），需自备氩气气瓶（自�?/span><span>?6mm</span><span>双卡奖�/span></span></p><p><span>接头）及减压阀</span></p><p><span>4<span>、工作台：尺寷�/span><span>1500mm</span><span>��</span><span>600mm</span><span>��</span><span>700mm</span><span>＋�/span><span>承重<span>200kg</span><span>以上</span></span></p><p><span>5<span>、通风装置：需�?/span></span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>主要特点</span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>1<span>�?/span>配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任何调换）、�/span></p><p><span>2</span><span>�?/span>可制备多种薄膜，应用广泛、�/span></p><p><span>3</span><span>�?/span>体积小，操作简便、�/span></p><p><span>4<span>、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整、�/span></p><p><span>5<span>�?/span>可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪、�/span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>技术参�?/span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>1<span>、电源电压：</span><span>220V 50Hz</span></p><p><span>2<span>、总功率：</span><span>2.5KW</span></p><p><span>3<span>、极限真空度９�/span><span>< E-6mbar</span><span>（配合本公司设备使用可达�?/span>E-5mbar<span>（�/span></p><p><span>4<span>、工作温度：</span><span>RT-500</span><span>℃，精度��</span><span>1</span><span>℃（可根据实际需要提升温度）</span></p><p><span>5<span>、靶枪数量：</span><span>3</span><span>�?/span></p><p><span>6<span>、靶枪冷却方式：水冷</span></p><p><span>7<span>�?/span>靶材尺寸９�span>?</span>2<span>′�/span>，厚�?span>0.1mm-5mm</span><span>（因靶材材质不同厚度有所不同（�/span></p><p><span>8<span>、直流溅射功率：</span><span>500W</span><span>（可选）</span></p><p><span>9<span>、射频溅射功率：</span><span>300W</span><span>/500W<span>（可选）</span></span></p><p><span>10<span>、载样台９�/span><span>?</span>140mm</span></p><p><span>11<span>、载样台转速：</span><span>1rpm-20rpm</span><span>内可谂�/span></p><p><span>12<span>、保护气体：</span><span>Ar</span><span>�?/span><span>N</span><sub><span>2</span></sub>等惰性气佒�/span></p><p><span>13<span>、进气气路：质量流量计控刵�/span><span>2</span><span>路进气，</span>1<span>�?/span>流量丹�span>100 SCCM</span>＋�span>1</span><span>�?/span>流量�?00 SCCM</span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>产品规格</span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>主机<span>尺寸９�/span>500<span>mm</span>��560<span>mm</span>��660<span>mm</span>，整朹�span>尺寸９�/span>1300<span>mm</span>��660<span>mm</span>��1200<span>mm</span><span>；重量：</span>160<span>kg</span></p></td></tr><tr><td rowspan="6"><p><span><strong><span>标准配件</span></strong></span><strong></strong></p></td><td><p><span>1</span></p></td><td><p><span>直流电源控制系统</span></p></td><td><p><span>2<span>奖�/span></p></td></tr><tr><td><p><span>2</span></p></td><td><p><span>射频电源控制系统</span></p></td><td><p><span>1<span>奖�/span></p></td></tr><tr><td><p><span>3</span></p></td><td><p><span>膜厚监测仪系绞�/span></p></td><td><p><span>1<span>奖�/span></p></td></tr><tr><td><p><span>4</span></p></td><td><p><span>分子泵（德国进口（�/span></p></td><td><p><span>1<span>�?/span></p></td></tr><tr><td><p><span>5</span></p></td><td><p><span>冷水朹�/span></p></td><td><p><span>1<span>�?/span></p></td></tr><tr><td><p><span>6</span></p></td><td><p><span>冷却水管＇�span>?</span>6mm<span>（�/span></p></td><td><p><span>4<span>核�/span></p></td></tr><tr><td><p><span><strong><span>可选配仵�/span></strong></span><strong></strong></p></td><td colspan="3"><p><span>金、铟、银、铂等各种靶杏�/span></p><p><span>掩膜片�/span></p><p><span>振动样品�?/span></p></td></tr></tbody></table> </div>  <div class="cxd"> <div class="cxd_tit"><span></span>创新炸�/div> <p style=" color: #333; font-size: 14px; margin: 10px 0 0; line-height: 26px;"> 暂无数据� </p> </div>  <div class="xgfa"> <div class="xgfa_tit"> <div> <span></span>相关方案 </div> </div> <div class="xgfa_box" style="display: block;"><div style="padding:10px;">暂无相关方案、�/div> </div> </div> <script> $(function(){ // 切换 $(".xgfa_tit_ul li").hover(function(){ $(".xgfa_tit_ul li").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); var _index = $(this).index(); $(".xgfa_box").css("display","none"); $(".xgfa_box").eq(_index).css("display","block"); }); }); </script>  <div class="xgzl"> <div class="cxd_tit"><span></span>相关资料</div> <div class="xgzl_box"><div style="padding:10px;">暂无数据、�/div> </div> </div>  <div class="yhpl"> <div class="cxd_tit"><span></span>用户评论</div> <form id="FormComments" action="" method="post" onsubmit="return false"> <input name="SaveProComments" id="SaveProComments" type="hidden" value="yes" /> <input name="ProductID" id="ProductID" type="hidden" value="255785" /> <input name="ProQuality" id="ProQuality" type="hidden" value="10" /> <input name="ProService" id="ProService" type="hidden" value="10" /> <input name="ProUsability" id="ProUsability" type="hidden" value="10" /> <input name="ProCostperformance" id="ProCostperformance" type="hidden" value="10" /> <div class="yhpl_pf"> <div> <p>产品质量</p> <div><span id="Quality" class="stars star10"></span><span id="Quality_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>售后服务</p> <div><span id="Service" class="stars star10"></span><span id="Service_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>易用�?/p> <div><span id="Usability" class="stars star10"></span><span id="Usability_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>性价毓�/p> <div><span id="Costperformance" class="stars star10"></span><span id="Costperformance_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> </div> <div class="yhpl_pftit">评论内容</div> <textarea name="Comments" id="ProComments" onfocus="checklogin();" placeholder="分享产品使用经验/采购评价（不超过500字）">