产品型号

VTC-16-D小型直流磁控等离子溅射仪

主要特点

1、特别为SEM样品镀导电性薄膜设计、�/span>

2、体积小巧，操作简单，容易上手、�/span>

3、拥有小型磁控靶头，可以镀金银铂等金属、�/span>

技术参�?/span>

1、输入电源：220V AC 50/60Hz

2、功率：200W

3、输出电压：500 VDC

4、溅射电流：0-50 mA可调

5、溅射时间：0-120S可调

6、溅射腔佒�/span>

1）采用石英腔体，尺寸�?66 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2）密封：采用不锈钢平法兰的O形密封圈

7、溅射头&样品�?/span>

l）溅射头可安装靶材直径为2英寸，厚�?.1 - 2.5mm

2）溅射时�?-120S可调

3）仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台，其与溅射头之间距�?0-80mm可调、�/span>

4）可选购加热型样品台，其**加热温度�?00ℂ�/span>

5）安装有一可手动操作的溅射挡板，可进行预溅尃�/span>

6�?*可制膜的直径丹�4英寸（仅供参考，详情请点击）

8、真空系绞�/span>

l）安装有KF25真空接口

2）数字真空压力表（Pa（�/span>

3）此系统可通入气体运行

4（� 1.0E-2 Torr （采用机械泵（�/span>

5（� 1.0E-5 Torr（采用涡旋分子泵（�/span>

9、进氓�/span>

l）设备上�?/4英寸进气口，方便连接气瓶

2）设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气�?/span>

10、靶杏�/span>

l）靶材尺寸要求：��50mm��(0.1 - 2.5) mm(厚度)

2）设备标配为铜靶

11、产品外型尺寷�/span>

L460 mm �� W 330 mm �� H 540 mm

净重：20 kg（不包括泵）

可逈�/span>

1�?/span>可在本公司选购各种靶材

对于溅射各种金属靶材，需要摸�?理想的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数，欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺（仅供参考）

2�?/span>可在本公司选购各种真空泴�/span>

3、可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

质量认证

CE认证

质保朞�/span>

一年保修，终身技术支持、�/span>

特别提示�?.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内、�/span>

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内、�/span>

使用提示

l、有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膛�/span>

2、在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

3、要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表靡�/span>

4、超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声，�?）异丙醇超声-去除油脂，（3）吹氮气干燥，（4）真空烘箱除去水分、�/span>

5、等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物、�/span>

6、制造一个薄的缓冲层�?纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力、�/span>

7、请使用>5N纯度氩气等离子体溅射

8、溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射

9�?/span>由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机、�/span>

警告

注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体、�/span>

气瓶上应安装减压阀（不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用、�/span>

溅射夳�/span>连接到高电压、�/span>

为了安全＋�/span>操作者必顺�/span>�?/span>关闭设备前装样和更换靶头、�/span>