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特点
集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测、/span>
技术参?/span>
简 ?/span> | 参数说明 |
1. 共焦 | l可快速垂直扫描的旋转共焦技?/span> l使用高数值孔 (0.95) 以及高倍数 (150? 3D全视?D镜头,用以表征坡度分 (超大斜率<干涉测量>: 72 vs 44) l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置 l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制 l应用于透明?薄膜 l兼容亮视?暗视重 光学DIC l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之逈/span> l高稳定?/span> |
2.干涉仪(WLI(/span> | lZ向高分辨玆/span> l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模弎/span> lZ向分辨率可独立放 l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿先span>?/span>蓝光和红? l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机 l快速处理器 l自动对焦 |
3.原子力显微镜 | l探针扫描可用于大型模松/span> lX?/span>Y?/span>Z三向可达原子级分辨率 l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um |
4.变焦 | l粗糙表面分析 l快速分枏/span> l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌 高精度原子力显微镛/span> |
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