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基于经典基片弯曲泔/span>Stoney公式测量原理+/span>采用先进的矩阵激光点阵扫描方式和探测技?/span>,以及智能化的操佛/span>,使徖/span>FST2000薄膜应力?/span>特别适合亍/span>晶圆类光电薄膜样品的曲率半径和应力测野/span>、/span>
独特的双模扫描模式方便适应不同应用场景下需求:Mapping不同区域的薄膜应力分市/span>或快速表?/span>样品整体平均残余应力、/span>
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