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德国样本
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弗莱贝格DDCOM(台式X射线晶体定向仪)采用Omega扫描方法,可以进行超高速的晶体定向测量,用于确定各种晶体的取向、/span>
l 方便快捷的晶圆检浊/span>
l 用于科研 & 研发,小型实验工厁/span>
l 适用多种可测量材斘/span>
l 重量轻、成本低
l 手动处理样品
从样品台底部测量
- 用于晶锭、晶圆、芯片的检浊/span>
- 控制切割、研磨、抛光等过程
超高速Omega扫描方法▻/span>
l 毓/span>Theta扫描方法?00倌/span>
l 自动评估三维完整的晶格方吐/span>
l ?/span>5秒内测定整个晶体的方佌/span>
l 易于移动和轻量级的桌面设讠/span>
l 样品处理方便,操作方侾/span>
l 空气冷却x射线管能耗低,运行成本低(无需水冷)
l 用于标准研究和工业工作流稊/span>
l 晶体方位设定及标礹/span>
l 预编程立方晶体参?/span>
l 先进方便的软仵/span>
l 精度高,例如高至(1/100)
l 单晶的完全晶格取吐/span>
l 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料,如9/span>2-12英寸的晶圆片?0公斤以下的晶?/span>
技术参数▼
X-ray 溏/span> | 30 W气冷式x射线管,铜阳 |
检测器 | 两个闪烁计数 |
样品枵/span> | 精密转台,设定精?.01,工具定义样品定位和标记 |
尺寸 | 600 mm 600 mm 850 mm |
重量 | 80 kg |
电源 | 100-230 V 100 W,单盷/span> |
室温要求 | 30 C |
暂无数据