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小型、多段式等离子清洗机
用逓/p>
提高各种材料的粘接性、表面改质处琅/p>
灰化、蚀刻处琅/p>
塑料封装前处琅/p>
印刷基板镀层前处理
LED关联部品处理
电子部品清洗
光刻胶剥离或表面残留物去陣/p>
光学、金属、机械部品等精密部件的清洖/p>
包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
FCC对应
特征
600W的小型高输出功率
电极可选择123段（采购时指定）
可处理纵型的试料收纳监/p>
可选择RIE/DP模式（采购时指定（/p>
数据记录器（选配（/p>
适配点记忆功能（选配（/p>
规格
| 型号 | PDC610 |
| 等离子模弎/td> | RIE/DP（固定模式） |
| 电极构速/td> | 3段独立平行平板（固定（/td> |
| 高频输出 | Max600W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 控制显示方式 | PLC触摸屎/td> |
| 反应腔尺寷/td> | W350D270H300mm |
| 反应腔材?/td> | A5052 |
| 反应气体 | 2系统（Ar、O2（/td> |
| 填充气体 | N2或干燥空氓/td> |
| 真空泴/td> | 油泵（约345L/分）标配 |
| 外形尺寸 | W600D722H700mm |
| 外装材质 | 不锈钡/td> |
| 电源 | 3 AC200 50/60Hz 15A |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
