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产品简今/strong>
日立高新钨灯丝扫描电镜SU3500具有实现了?kV加速电?nm分辨率”的全新电子光学系统 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1、/p>
它为观察和分析提出了崭新的标准、/span>
全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察
和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大?1科/p>
具有在低真空时可以非常好地观察样?表面的细微形状的“UVD（超高灵敏度可变压力探测器）”＊4
具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4
?1）：自逈/span>
?2）：和日立SEM S-3400N相比
?3）：根据观察条件的不同，时间会有变动
?4）：自逈/span>
规格
项目 |
描述 |
|
| 二次电子分辨玆/span> | 3.0nm（加速电厊30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速电厊3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm（加速电厊30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速电厊5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300?00倍（底片倍率?（/span> | |
| 7 - 800?00倍（显示器显示倍率?（/span> | ||
| 加速电厊/span> | 0.3 - 30kV | |
| 可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
| **样品尺寸 | 直径 200mm | |
| 样品?/span> | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360 | |
| T | -20 - 90 | |
| 可观察区埞/span> | 直径 130mm （旋转并用） | |
| **样品高度 | 80mm（WD=10mm（/span> | |
| 马达?/span> | 5轴标酌/span> | |
| 电子光学系统 | 电子?/span> | 预对中的钨灯东/span> |
| 物镜光阑 | 4孔可动光阐/span> | |
| 探检测器 | 埃弗哈特 索恩 二次电子探测?/span> | |
| 高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35（/span> | |
| 图像显示 | 操作系统 | Windows?7?（如有更改，恕不另行通知（/span> |
| 图像显示模式 | 全屏模式??80 960 像素（/span> | |
| 小屏模式?00 600 像素（/span> | ||
| 双图像显示（800 600 像素（/span> | ||
| 四屏幕显示（640 480像素（/span> | ||
| 信号混合模式 | ||
| 排气系统 | 操作 | 全自动排氓/span> |
| 涡轮分子泴/span> | 210? 1 | |
| 机械泴/span> | 135L/min?62L/min?0Hz?#215; 1 | |
?2（/span>：以127mm95mm（图像尺?"5"）的显示尺寸规定倍率
?3（/span>：以345mm259mm（像??80960）的显示尺寸规定倍率
?4（/span>：Windows?是微软公司在美国和其他国家的注册商标
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