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公司长期定制加工微孔 掩膜板, Si基各种特种薄膜或薄膜孔阵列,金属基微器件。欢迎详?
采用UV-LIGA技术进行各种常规、异性金属材质的微纳孔加工。典型critical dimension?um-100um;材料选择广泛如Ni、Cu、Zn、Fe-Ni、Ni-W等、/p>
硅基微加工采用半导体工艺,加工具有高的深宽比微纳米孔、/p>
500nm密孔阵列
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