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测量精度高;方便快捷地分析样品的表面形貌和粗造度;分辨率高,景深大,清晰观察不同焦平面上的图像信息;共焦切层,三维重组,多角度观察;对不同时间,不同位置的图像进行无缝拼接,再现性强;可获得亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗造度,透明膜厚等几何参数测量数据、/p>
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