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KLA 探针式表面轮廓仪(台阶仪 P-17
P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进衋/span>2D咋/span>3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接、/span>
P-17是第八代台式探针轮廓仪(台阶仪),是40多年的表面量测经验的结晶。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进衋/span>2D咋/span>3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接、/span>
该系统结合了UltraLite?传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性、/span>通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速、/span> P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支?/span>2D戕/span>3D测量、/span>并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量、/span>
台阶高度:几纳米臲/span>1000m
微力恒力控制9/span>0.03臲/span>50mg
样品全直径扫描,无需图像拼接
视频9/span>500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误?/span>
软件:简单易用的软件界面
生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
台阶高度9/span>2D咋/span>3D台阶高度
纹理9/span>2D咋/span>3D粗糙度和波纹?/span>
形状9/span>2D咋/span>3D翘曲和形犵/span>
应力9/span>2D咋/span>3D薄膜应力
缺陷复检9/span>2D咋/span>3D缺陷表面形貌
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