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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备、/span>
RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品、/span>
仪器特点９/span>
- **工艺温度?50摄氏度；
- 加热区域?00mm x 170mm：/span>
- 高性价比；
参考用户：
中电13所等、/span>
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