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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用、/p>
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理、/p>
仪器特点９/strong>
- 快速热处理、快速热退 RTP / RTA：/p>
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
-加热区域尺寸?00毫米 X 300毫米：/strong>
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，?56mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等：/p>
参考用户：
中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所：/p>
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