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技术规格：
- 多矩形阴?
- 射频或直流溅?RF DC);
- 基底尺寸?0cm x 40cm;
- 沉积时衬底振荠
- 常用于ITO AZO等膜层的沉积;
- 均匀性：优于5% (沉积TCO或金属薄?;
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