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等离子体热处理炉为德国生产，具有等离子清洗、表面处理、材料表面修饰、材料热处理的功能、/p>
仪器特点及基本参数：
具有等离子体清洗、表面修饰、表面处理、表面活化的功能：/p>
具有真空能力(10-5mbar)：/p>
芯片倒装凸点(Bump)：/p>
凸点焊接：/p>
键合：/p>
功率器件焊接：/p>
样品尺寸?70X200mm，或300x300mm：/p>
温度?50摄氏度；
24支红外灯加热：/p>
2路MFC气路：/p>
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工商已核宝/p>
