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主要特征9/span>
? **高通量聚焦离子束(FIB)加工系绞/span>
? 紧凑式设计以便灵活布局-安装空间减少20%
? 低加速电压时出色的性能
? 快速寻找观察位置的平台系统
主要规格9/span>
离子源:Ga(镓)液态金属离子源
图像分辨率:5nm
束电流:**臲span>60 nA
加速电压:1}span>30Kv
放大倍率9span>60 (用于视场搜索)200}span>300?00
图片获取:平台搜索(可选)
样品?span>1(标准)9span>5轴马达驱动样品台
样品?span>2(可选):侧插式测角样品?/span>
沉积物:**?span>GIS装置
碳、钨、铂
装置:主要部仵span>+操作?/span>
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