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SU8020--日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列
产品介绍９/strong>
日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列--SU8020日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升?.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度、/p>
特点９/strong>
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可?.3nm
2. 日立**的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功胼/p>
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功胼/p>
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完
| 项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
| 二次电子分辨玆/td> | 1.0nm （加速电?5kV、WD?mm（/td> | |||||||
| 1.3nm （加速电?kV、WD?.5mm（/td> | ||||||||
| 加速电厊/td> | 0.1?0kV | |||||||
| 观测倍率 | 20?000?00(底片输出) | |||||||
| 60??00?00（显示器输出（/td> | ||||||||
| 样品?/td> | ||||||||
| 马达驱动 | 5轳/td> | REGULUS样品?/td> | ||||||
| 行程 | X | 0?0mm | 0?10mm | |||||
| Y | 0?0mm | 0?10mm | 0?0mm | |||||
| Z | 360 | |||||||
| T | -5?0 | |||||||
| R | 1.5?0mm | 1.5?0mm | ||||||
| **装载尺寸 | 100mm?*（/td> | 150mm?*（/td> | 150mm?*（/td> | |||||
| 150mm（选配（/td> | 200mm（选配（/td> | |||||||
| 探头 | ||||||||
| 标配 | Lower | 高立体感图像 | ||||||
| Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 | |||||||
| Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 | |||||||
选配 |
STEM | 明场像、暗场像 | ||||||
| YAG 探头 | BSE图像 | |||||||
| 半导体探夳/td> | BSE图像 | |||||||
| EBIC | 电子束感生电流图僎/td> | |||||||
| EDS | 元素分析 | |||||||
| 反污染措於/td> | ||||||||
| 冷指 | 标配 | |||||||
| 物镜光阑 | 内置自清洁功胼/td> | |||||||
| 电子?/td> | 内置加热?/td> | |||||||
| 真空系统 | ||||||||
| 离子泴/td> | 3?/td> | |||||||
| 分子泴/td> | 1?/td> | |||||||
| 机械泴/td> | 1?/td> | |||||||
暂无数据
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