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SU8010—日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列
产品介绍9/strong>
日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的一致好评、/p>
日立2011年新推出了它的后续机?---SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升?.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果、/p>
特点9/p>
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可?.3nm
2. 日立**的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功胼/p>
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功胼/p>
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完戏/p>
二次电子分辨玆/p> |
1.0nm(加速电?5kV、WD?mm(/td> | |
| 1.3nm(加速电?kV、WD?.5mm(/td> | ||
| 加速电厊/td> | 0.1?0kV | |
| 观测倍率 | 20?000?00(底片输出) | |
| 60??00?00(显示器输出(/td> | ||
| 样品?/td> | ||
| 马达驱动 | 3轴马辽/td> | |
| 5轴(选配(/td> | ||
| 行程 | X | 0?0mm |
| Y | 0?0mm | |
| Z | 360 | |
| T | -5?0 | |
| R | 1.5?0mm | |
| **装载尺寸 | 100mm?*(/td> | |
| 150mm(选配(/td> | ||
| 探头 | ||
| 标配 | Lower | 高立体感图像 |
| Upper | 高分辨SE、BSE图像 | |
选配 |
STEM | 明场像、暗场像 |
| YAG 探头 | BSE图像 | |
| 半导体探夳/td> | BSE图像 | |
| EBIC | 电子束感生电流图僎/td> | |
| EDS | 元素分析 | |
| 反污染措於/td> | ||
| 冷指 | 标配 | |
| 物镜光阑 | 内置自清洁功胼/td> | |
| 电子?/td> | 内置加热?/td> | |
| 真空系统 | ||
| 离子泴/td> | 3?/td> | |
| 分子泴/td> | 1?/td> | |
| 机械泴/td> | 1?/td> | |
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