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膜厚测试?/span>
椭偏?/span>
应力双折射仪＋span>能够快速、精准测量双折射相位差及其空间分布和方向。广泛应用于玻璃、晶体、聚合物薄膜、镜片、晶片等质量分析和控制领域
日本Photonic-lattice成立?996年，以日本东北大学的光子晶体的研究技术为核心，成立的合资公司，尤其是其光子晶体制造技?*世界，并由此开发出的测量仪器、/span>
根据应用不同，我们特别开发出5款不同的的膜厚测试仪/椭偏仪，每一款产品各具不同的特点、/span>
PHL紧凑型桌面式椭偏 SE-101
型号 |
SE-101 |
重复?/span> |
厚度0.1nm，折射率0.001 |
测量速度 |
0.05?测量炸/span> |
光源 |
636nm 半导体激光器 |
测量炸/span> |
1mm |
入射觑/span> |
70?/span> |
测量尺寸 |
4英寸＋/span> |
仪器尺寸和重野/span> |
250x175x218.3mm/4kg |
数据接口 |
千兆以太网（摄像机信号），RS-232C |
功率 |
AC100-240V?0/60Hz（/span> |
软件 |
SE-View |
凑型桌面式椭偏仪 SE-102
型号 |
SE-102 |
重复?/span> |
厚度0.1nm，折射率0.001 |
测量速度 |
0.05?测量炸/span> |
光源 |
636nm 半导体激光器 |
测量炸/span> |
1mm |
入射觑/span> |
70?/span> |
测量尺寸 |
4英寸?轴自动，2轴手?/span> |
仪器尺寸和重野/span> |
300x235x218.3mm/4kg |
数据接口 |
千兆以太网（摄像机信号），RS-232C |
功率 |
AC100-240V?0/60Hz（/span> |
软件 |
SE-View |
快速映射椭偏仪 ME-110
型号 |
ME-110 |
重复?/span> |
厚度0.1nm，折射率0.001 |
测量速度 |
每分?000个点以上 |
光源 |
636nm 半导体激光器 |
测量炸/span> |
0.5mm |
入射觑/span> |
70?/span> |
测量尺寸 |
6英寸 |
仪器尺寸和重野/span> |
650x650x1740mm/120kg |
数据接口 |
千兆以太网（摄像机信号），RS-232C |
功率 |
AC100-240V?0/60Hz（/span> |
软件 |
SE-View |
型号 |
ME-110 |
重复?/span> |
厚度0.1nm，折射率0.001 |
测量速度 |
每分?000个点以上 |
光源 |
636nm 半导体激光器 |
测量炸/span> |
0.0055-0.5mm |
入射觑/span> |
70?/span> |
测量尺寸 |
6英寸 |
仪器尺寸和重野/span> |
650x650x1740mm/120kg |
数据接口 |
千兆以太网（摄像机信号），RS-232C |
功率 |
AC100-240V?0/60Hz（/span> |
软件 |
SE-View |
允许厚度分布的测量，例如，透明电极膜和取向膜与基底玻璃的透明基板
型号 |
ME-110-T |
重复?/span> |
厚度0.1nm，折射率0.001 |
测量速度 |
每分?000个点以上 |
光源 |
636nm 半导体激光器 |
测量炸/span> |
0.5mm |
入射觑/span> |
70?/span> |
测量尺寸 |
6英寸 |
仪器尺寸和重野/span> |
650x650x1740mm/120kg |
数据接口 |
千兆以太网（摄像机信号），RS-232C |
功率 |
AC100-240V?0/60Hz（/span> |
软件 |
SE-View |
高速，高解析度的表面分布测野/span>
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