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| 项目 | 技术指栆/strong> |
| 仪器型号 | EM12 |
| 激光波镾/td> | 632.8nm (He-Ne Laser) |
| 膜厚测量重复?sup>?(/sup> | 0.2nm (对于平面Si基底?00nm的SiO2膜层) |
| 折射率测量重复?sup>?(/sup> | 2x10-3(对于平面Si基底?00nm的SiO2膜层) |
| 单次测量时间 | 与测量设置相关,典型1.6s |
| **的膜层范図/td> | 透明薄膜可达4000nm 吸收薄膜则与材料性质相关 |
| 光学结构 | PSCA?#916;??80附近时也具有极高的准确度(/td> |
| 激光光束直徃/td> | 1-2mm |
| 入射角度 | 40-90可手动调节,步进5 |
| 样品方位调整 | Z轴高度调节:6.5mm 二维俯仰调节?#177;4 样品对准:光学自准直和显微对准系绞/td> |
| 样品台尺寷/td> | 平面样品直径可达170mm |
| **外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角为90?? |
| 仪器重量(净重) | 25Kg |
| 选配仵/td> | 水平XY轴调节平移台 真空吸附泴/td> |
| 软件 | ETEM软件9/p>
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