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MProbe MSP
显微薄膜测量?/span>
MProbe让你成为测量专家
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si aSi,polySi)、半导体化合?AlGaAs InGaAs CdTe,CIGS)、硬涂层(SiC DLC) 聚合物涂 (Paralene,PMMA,聚酰胺),薄金属薄膜等、/span>
厚度范围: 1 nm - 1 mm
波长范围: 200 nm -1700 nm
光斑尺寸:50 um -4 um
在薄膜太阳能电池中的应用: aSi TCO CIGS CdS CdTe-全太阳能堆栈测量LCD FPD应用: ITO 细胞间隙,聚酰胺。光学涂屁 介质滤波器,硬涂层,防反射涂层半导体和电解质: 氧化物,氮化物, OLED堅/span>
实时测量和分析、/strong>各种多层次的 薄的,厚的,独立的和不均匀的层 、/span>
丰富的材料库 (500多种材料) 新材料容易增添。支持参数化材料:Cauchy Tauc-Lorentz Cody-Lorentz EMA 筈/p> 使用灵活: 用TCP接口能容易的和外部系统连接、/span> 测量参数: 厚度、光学常数、表面粗糙度 界面友好强大: 一键式测量和分析。强大的工具:仿真和灵敏度分析,背景和缩放修正,连接层和材料,多样品测量、动态测量和生产批量处理、/span>.
氧化?100 nm)测量,光斑尺?0 um 波长范围:200 nm-1000 nm
MProbeUVVisNIR-MSP system
精度 | <0.01nm?.01% |
精确?/span> | <0.2%? nm |
稳定?/span> | <0.02nm?.03% |
光斑尺寸 | 50 m-4 m |
样本大小 | ?00 mm?00mm x 200mm |
物镜 | 10x?0x?0x (Vis) 8x(UV-NIR). 等焦?5,长WD物镜 |
基本选项/参数
选项 | 产品描述 | 评析 |
-MXY[6 or 8] | 电动平台? x6 (150 mm)?”x8“/p> (200 mm)。包含控制器和支持映射软件、/p> ?span>?.5 mm,重复?/span>1 um、/span> | 8”x8 包含手工阶段作为所有模型的标准 |
-TOM | 透光率测量配置。包?玻璃插入的阶 段,光源/电容器,光纤 | 适用于Vis和IR |
-TOSwitch | 使用相同的光谱通道结合了反射和透射系数测量 | 需?TOM.详情参考单独小冋/span> |
-APO100 | APO 100X 物镜(可见物),95 mm 的等焦面,R=0.7 m | 10x?0x?0x and 8x UV-NIR 都包含在标准釋/span> |
-CCD | 相机目镜2 MP | 其他的相朹UV Vis IR 均可?/span> |
型号 | 波长范围 | 光谱仪探测器/检测器/光源 | 厚度范围* |
VIS-MSP | 400-1100nm | 分光 F4/Si 3600像素??卤素光源 | 15nm-20 m (可多?0 m) |
UVVisSR-MSP | 200-1000nm | 分光 F4/ Si CCD 3600像素??钨卤组合式光溏/span> | 1nm-20m (可多?0 m) |
HRVIS-MSP | 700-1000nm | HR分光仪F4/Si 3600 像素??卤素光源 | 1m-400 m |
NIR-MSP | 900-1700nm | 传输光谱?TVG) F2/512 InGaAs/?卤素光源 | 100nm-200 m |
VISNIR-MSP | 400-1700nm | 分光 F4 Si CCD 3600 像素?Vis channel);传输光谱仪(TVG)F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) ?钨卤组合式光溏/span> | 15nm-200 m |
UVVISNIR- MSP | 200-1700nm | 分光 F4 Si CCD 3600 像素?Vis channel);传?TVG)F2/512 InGaA(NIR channel) ?钨卤组合式光溏/span> | 1nm-300 m |
XT-MSP | 1590nm-1650nm | 传输光谱 (TVG) F2/512 InGaAs/ -卤素光源 | 10m-1mm |
* T n & k 测量的厚度范围为25nm 5um
其他配置也是可以做到,欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目、/p>
对所有系统中的配件有一年的质量保证
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