德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍

过程质谱�?/span>Versa PS 2000是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的、�/span>它也可用于其他光学测试，例如：涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测野�/span>

PS 2000的特炸�/span>

��快速精准测野�/span>(测量时间低至10 ��s)

��快速读叕�/span>

��多种数据接口

��由外部位置传感器读出

��性能稳定可靠

Versa PS2000的固件能够预夃�/span>理测量数据，所以我们的迆�/span>程光谱仪能够夃�/span>理计算进程数据，例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源（卤素灯或者疝气闪光灯（�/span>

应用数据

��在线光谱测试��USB (high or full speed)

��真空沉积的过程控���LAN

��薄膜厚度测试��RS 232/ 422/ 485

��仪器仪表分析

��多通道光谱分析系统

产品描述

��存储的参考参�?/span>

��数据预处琅�/span>�暗信号矫止�/span>�**校准

��内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数

��基于DLL皃�/span>SDK咋�/span>SCPI（仪器标准指令）可兼容的控制语法

��软件和硬件的触发

规格参数

光学参数
光谱范围	200 nm ... 1000 nm
光谱�?/td>	flat field holographic grating� aberration correction mirror
光谱带宽	≣�/span>4.0 nm FWHM (100 ��m slit) ≣�/span>2.5 nm FWHM (50 ��m slit) ≣�/span>2.0 nm FWHM (30 ��m slit)
不对称因孏�/td>	�?/span>0.7
光输�?/td>	200mm光纤�?/span>F-SMA 905接头
波长准确�?/td>	≣�/span>0.2 nm (HgAr线性光)
波长重复�?/td>	≣�/span>0.02 nm (HgAr线性光)
杂散先�/td>	< 0.2 % (ASTM E387� GG495＋�/span> 波长= 420 nm/ 600 nm)
动力	取决于探头类垊�/span>
探头	25 mm BTCCD� CMOS� NMOS*
电子参数
数字解析�?/td>	16 bit
AD噪声	2 counts RMS
采样速率	up to 4 MS/ s
数据传输玆�/td>	up to 40 Mb/ s (via High Speed USB)
集成时间	0.01 ... 65535 ms
触发延迟	10 ��s
抖动	≣�/span>2��s
数据接口	USB Ethernet or RS 422/485 RS 232
电源	110 � 220 V or PoE (if Ethernet is used)
机械参数
体积	25 cm x 25 cm x 15 cm
重量	3 kg
标配清单	主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手冋�/td>

其他配件可依客户需求订酌�/p>