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美国样本
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Semiconsoft MProbe薄膜测厚?/strong>
M p r o b e !
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量9/strong>
氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si aSi,polySi)、半导体化合?AlGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS)、硬涂层(SiC DLC) 聚合物涂 (Paralene 聚甲基丙烯酸甲酯 聚酰? 薄金属薄膜等、/p>
厚度范围: 1 nm-1 mm
波长范围: 200nm -5000nm
在薄膜太阳能电池中的应用:
aSi TCO CIGS CdS CdTe-全太阳能堆栈测量
LCD FPD应用:
ITO 细胞间隙,聚酰胺、/p>
光学涂层:
介质滤波器,硬涂层,防反射涂层半导体和电解质: 氧化物,氮化物, OLED堆、/p>
实时测量和分析。各种多层次的, 高强度的,厚的, 独立和不均匀的层 、/p>
丰富的材料库 (500多种材料) 新材料容易增添、/p>
支持参数化材斘
Cauchy Tauc-Lorentz Cody-Lorentz EMA ?
使用灵活:
可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接、/p>
测量参数9/strong>
厚度、光学常数、表面粗糙度、/p>
界面友好强大:
测量和分析设置简单。背景和缩放修正,连接层和材料、/span>
离线数据分析9/strong>
仿真和灵敏度分析,多样品测量,生产批量处理、/span>
MProbe系统示意国/span>
精度 | 0.01nm or 0.01% |
精确?/span> | 0.2% or 1 nm |
稳定?/span> | 0.02nm or 0.03% |
光斑尺寸 | 标准 3mm 可以小到 3m |
样本大小 | 1mm 赶/span> |
主要参数
模型 | 波长 | 范围光谱仪探测器/检测器/光源 | 厚度范围 * |
VIS | 400-1100 nm | 分光 F4/Si 3600像素? ?卤素光源 | 15 nm to 20 mm (option:up to 50 mm) |
UVVisSR | 200-1100 nm | 分光 F4/ Si CCD 3600 像素??钨卤组合式光溏/span> | 3 nm to 20 mm (option:up to 50 mm) |
HRVIS | 700-1000 nm | HR分光仪F4/Si 3600 像素? ?卤素光源 | 1 mm to 400 mm |
NIR | 900-1700nm | 传输光谱?TVG) F2/512 InGaAs/?卤素光源 | 100 nm-200 mm |
VISNIR | 400-1700 nm | 分光 F4 Si CCD 3600 像素炸/p> (Vischannel);传输光谱仪(TVG) F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) ?卤素光源 | 15 nm to 200 mm |
UVVISNIR | 200 -1700 nm | 分光仪F4 Si CCD 3600 像素?Vis频道);传输 ?钨卤组合式光溏/span> | 3 nm -200 mm |
NIRScan | 900nm -5000nm | 扫描分光?InGaAs/ MCT 探测 (扫描时间 <60 ) TH-SiN光源 | 100 nm -800 mm |
XT | XT 1590nm -1650nm | 传输光谱 (TVG) F2/512 InGaAs/ -卤素光源 | 10 mm- 1 mm |
* T n & k 测量的厚度范围为25nm 5um
其他配置也是可以做到,欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目、/p>
对所有系统中的配件有一年的质量保证、/span>
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