仪器简介：

技术参数：

1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真、�/p>

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的�?镀层和薄膜、�/p>

3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm~800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl、�/p>

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥�?*的光通量，因而拥�?*的光效率和灵敏度、�/p>

5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5 x 10¹⁰、�/p>

6、宽大的样品室方便各类样品的加载、�/p>

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告、�/p>

8、HORIBA独有的单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1、�/p>

9、适用于ISO14707�?6962标准、�/span>