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作为*早将激光共焦显微镜应用于工业领域的开拓者和实践者，OLYMPUS在工业的激光共焦应用领域积累了独到的技术，并推出了**的产品OLS4000 、/p>
一、主机性能
二、主要功胼/p>
5?/span>OLS4000具备常规显微镜的功能，多种观察方法：BF，DIC。可升级到原子力显微镜（AFM）、/div>
三、应用领埞/strong>
各种工艺（显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析，透光膜厚测量?适合范围1.0mm-1.0m）、/div>
2) 铜线高度(2-3m)，线?10-20m或更?
3) 基板表面粗糙度，三维形貌、/div>
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