Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计

INFICON 生产的Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计�BPG402-S，两

种真空计集成在一个小型的单元内，测量范围�?x10-10 毫巴至大

气压(3.8x10-10 乇至大气�?. 复合的技术降低了安装，设置和集成

的复杂�?在一个小型外壳内装有双敷涂钇的氧化铱灯丝皃�/p>

BPG402-S用于频繁与重复的工艺过程中测量基本压�? 带有�?/p>

机校准数据的敏感元件保证更换传感器的高度再现�?

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气�?

极好的重复性，过程压强范围10-8 � 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯东�/p>

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复�?/p>

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半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膛�/p>

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围