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C12562 纳米膜厚测量仪系刖/strong>
特?/p>
可测?0nm薄膜
缩短测量周期(频率高?00Hz(/p>
增强型外部触发(适合高速测量)
涵盖宽波长范围(400 nm?100 nm(/p>
软件增加了简化测量功胼/p>
可进行双面分枏/p>
不整平薄膜精确测野/p>
分析光学常数(n,k(/p>
可外部控刵/p>
参数
| 型号 | C12562-02 |
| 可测膜厚范围(玻璃) | 10 nm to 100 m*1 |
| 测量可重复性(玻璃(/td> | 0.02 nm*2 *3 |
| 测量准确度(玻璃(/td> | 0.4 %*3 *4 |
| 光源 | 卤素?/td> |
| 测量波长 | 400 nm to 1100 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. 1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | *?0屁/td> |
| 分析 | FFT 分析,拟合分析,光学常数分析 |
| 测量时间 | 3 ms/炸sup>*5 |
| 光纤接口形状 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C Ethernet |
| 电源 | AC100 V to 240 V 50 Hz/60 Hz |
| 功耖/td> | 80W |
*1:以 SiO2折射?.5来转捡/p>
*2:测?00 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏?/p>
*3:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*4:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*5:连续数据采集时间不包括分析时间
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