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此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配吇/span>SEM 制样必备的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入、/span>
产品编号 | ZB-YQ1700 |
产品名称 | 小型离子溅射?/span> |
玻璃处理宣/span> | 100mm、高?/span>130mm |
试样台尺寷/span> | 40mm可同时放6个样品杯 |
金靶尺寸 | 58mm |
真空系统 | 直联旋片真空泴/span>2L/S |
真空检浊/span> | 皮氏讠/span> |
真空保护 | 20Pa配有微量充气阀调节工作真空 |
工作气体 | 空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节 |
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