金属电热元件9/p>其他
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技术指栆/span>
●适用晶片尺寸 2~8英寸圆片
●工作温度: 600℃~1300℃;
●可配工艺管数量?~2??/p>
●恒温区长度及精度:≤?.5?300~600mm ?00℃~1300℃)+/p>
单点温度稳定性:≤?.5℃℃ /24h ?100℃)?nbsp;
●温度斜变能力:**升温速率20?min?*降温速率5?min?nbsp;

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