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高温退火激活炉 |
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?nbsp;用于SiC、GaN等高温退火活化工?nbsp; ?nbsp;满足各种真空、气氛高温退火的激活工艹/span> |
重要参数 |
?nbsp;**晶圆尺寸：满?寸以下晶圆工艺要汁/span> ?nbsp;**载片量：50?扸/span> ?nbsp;**加热温度?000ℂ/span> |
装卸片方弎/strong> |
?nbsp;立式垂直升降 ?nbsp;立式真空密封系统 |
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