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光谱薄膜测试?/strong> Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
应用领域: IC fab MEMS LED solar cell photonics nano technologies.
设备特? Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
?广泛用于检测各种薄膜的厚度 包括oxide nitride photo resist metal oxide ITO.
?膜厚范围可自20nm ?000nm. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR 1700nm.
?可具有高?2”直径自 mapping 功能,软件功能强?
技术参数:
光谱薄膜测试?/strong> Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
应用领域: IC fab MEMS LED solar cell photonics nano technologies.
设备特? Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
?广泛用于检测各种薄膜的厚度 包括oxide nitride photo resist metal oxide ITO.
?膜厚范围可自20nm ?000nm. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR 1700nm.
?可具有高?2”直径自 mapping 功能,软件功能强?
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