主成分含量(%):
-制作方法9/p>-
密度(kg/m³):
-纯度9/p>-
莫氏硬度9/p>-
白度9/p>-
目数9/p>-
品级9/p>-
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技术优劾/p>
1.可进行硅舟结构的定制化设计,包括沟棒形状,沟齿长度、形状、倾斜角度,以及硅舟的总载片量、/p>
2.高温硅舟可以有效减少硅片的接触损伤,提升制程良率、br/>
3.熔接硅舟可以对损坏部件进行更换,降低持有成本、br/>
4.硅舟拥有较大的多晶硅沉积上限,可以有效减少设备PM频率,提升产能、br/>
暂无数据
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8-12寸硅舟的使用方法>/li>
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