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图形衬底复活品牌
中创燕园半导佒/span>产地
河北样本
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由于图形化蓝宝石衬底（PSS）可以有效的改善晶体生长质量并提高LED器件光萃取效率，已经成为业内LED生长的主流衬底。然而，外延生长及芯片制作中，无可避免会出现废片现象。本公司利用高温气氛等技术手段，去除图形衬底上生长的GaN外延层，从而复活图形衬底，使之可以重新外延生长利用，为外延厂家废片库存问题提供解决方案、br style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>
使用复活衬底重新外延并制备的芯片测试结果显示，芯片质量和使用正常PSS没有差别，目前的成品率可以达?0%以上。对比效果见下表９/span>
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