功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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碳化硅PVD载盘经等静压工艺成型、高温烧结而成。亦可根据用户设计图纸要求进行外径、厚度尺寸，穴位数量、尺寸、取片槽位置和形状进行精加工，以满足用户的具体使用要汁/p>
特点和优劾/p>
高致密?/p>
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
耐电浆冲击?/p>
耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀
经过半导体级别清洖/p>
暂无数据
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