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设备采用模块化结构设计,可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式:br style="box-sizing: border-box;"/> 全金属密封结构可以降低漏率;
旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性;
高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度、/span>
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