功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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石墨托盘
技?/p>
1)用于LED外延片加工石墨顶松
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关糺
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环、/p>
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