功率(kw):
-重量(kg):
-规格外形(长*?高)9/p>-
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反应烧结碳化硅悬臂奖,是半导体晶圆装载系统的关键部位。悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂奖截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能、/p>
悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD极大地延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物、/p>
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悬臂桨的工作原理介绍>/li>
悬臂桨的使用方法>/li>
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