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双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50
双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50

参考价栻/p>面议

型号

双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50

品牌

康帕囟/span>

产地

安徽

样本

暂无
合肥康帕因设备技术有限公号/a>

金牌会员

|

?平/p>|

生产啅/p>

工商已核宝/p>

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    设备描述

    CVD1200C-II-SL 200D50-5Z双温区滑轨式CVD系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备

    技术参?/span>










    双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50-5Z

    炉体结构

    该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55ℂ/span>

    炉底安装一对滑轨,可手动滑?/span>+/span>以便满足特殊工艺的快速升降温皃/span>求、/span>

    炉管尺寸

    Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制?

    功率

    5kW

    输入电压

    220VAC单相 50/60Hz

    加热元件

    Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金(/span>

    **温度

    **温度?200ℂstrong>

    额定温度?100ℂ/span>

    升温速率

    ?0?min(推荐)

    加热区长度度

    两个加热区的长度都是200mm

    分别由独立的温控系统控制

    恒温区长

    100+100mm(?℃)

    可获得较长恒温区闳/span>

    控温精度

    ±1ℂ/span>

    快速连接法?/span>

    Φ50快结式不锈钢真空法兰

    打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方侾br/> 另配备有可调节高度的法兰支架



    五路质子流量控制系统

    MFC-5Z


    电压

    220VAC单相 50/60Hz

    针阀材质

    316不锈钡/span>

    量程

    50sccm?00sccm?00sccm?00sccm?00sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择(/span>

    工作温度

    5?5ℂ/span>

    外型尺寸

    600(L) x 600(W) x 700(H) mm

    电压

    AC220V/50Hz单相

    功率

    23W



    真空系统

    LVU-10

    壳体尺寸

    600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

    **承载野/span>

    1000 Lbs

    抽气速率

    10m³/h

    极限真空度:10-1Pa

    双层立式油污过滤?PE材质)与真空泵连?/span>

    质保朞/span>

    一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件





    使用注意事项

    炉管内气压不可高?.02MPa

    当炉体温度高?000ℂ/span>时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

    石英管的长时间使用温度<1100ℂ/span>

    对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大?.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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    产品质量

    10刅/span>

    售后服务

    10刅/span>

    易用?/p>

    10刅/span>

    性价毓/p>

    10刅/span>
    评论内容
    暂无评论?/div>
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