该设备为RTP快速升温炉，加热元件为红外灯管，可快速升降温。内置移动导轨，并有电极带动再导轨上滑动，三温区结构设计，配合自动化程序控制，可实现样品在不动条件下的自动化移动和蒸镀处理、�/p>

技术参�?/p>

加热部分９�/p>

炉膛模式：前后移动开启式炉膛（三个工艺炉膛）

显示模式�?0 英寸触摸屎�/p>

加热元件：短红外波灯管，上下水平面独立加�?/p>

工作温度：≤750ℂ�/p>

升温速率：≥15�?s（空炉）

样品移动：电机驱动，速度可调

温区长度�?00mm（恒温区 100*100mm（�/p>

温度均匀性：≤�?ℂ�/p>

工艺位温降；�?0ℂ�/p>

快速降温；�?�?S（空炉）

炉管规格 ：�?50*1200 mm

控温精度：�?ℂ�/p>

密封方式：快速法兰密�?/p>

仪表补偿：室温自动补偾�/p>

温度曲线�?0 �?quot;时间—温度曲�?quot;任意可设

测温元件：K 型铠装热电偶（Omega（�/p>

炉膛材料：氧化铝纤维

外形尺寸 �?450*700*1000MM�?�?髗�/p>

整机功率：单个温� 12kw，共� 36KW

电源参数�?80V 50Hz

样品移动：伺服电机驱动刚玉推杆带动基板移�?/p>

运行轨道：钼轨道

推杆速度：可谂�/p>

导轨水平度：�?mm/m

推杆定位误差：≤1mm

防撞措施 ：超力矩推不动，急停按钮

蒸发距离：样品下平面和坩埚上平面间距�?mm,可根据需要调芁�/p>

速度误差 ：≤1%

抽真空能力：大气到≤5Pa 小于 15min（空炉）

气压范围�?0 -3Pa�?0 5Pa，机械泵极限�?Pa

泄漏率：�? -4（Pa*m 3/s（�/p>

真空计范围：大气� 10 -5Pa�?*分辨� 0.01Pa

气路系统：按照工艺要求定刵�/p>