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主要技术参?
单工位磨?*晶圆尺寸6英寸;
双工位磨?*晶圆尺寸4英寸;
盘?-100rpm;
滴料1-100ml/min均匀可调;双蠕动泵供料;
摆臂摆动幅度0-15度可谂摆臂摆动速度均匀可调;
全液晶屏控制、/p>
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