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制作方法9/p>-
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-
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参数 |
典型倻/span> |
深度 |
6~100nm |
NV浓度 |
1011~1013/cm2 |
T1 |
1~5㎲/span> |
T2 |
10~100㎱/span> |
T*2 |
~0.3∑/span>0.8㎱/span> |

暂无数据
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