真空室结枃�

方形前开�?/p>

真空室尺寷�

φ400x400x400mm

极限真空�?

�?.6E-5Pa

沉积溏�

永磁�?套，φ2英寸

样品尺寸，温�?

φ4英寸�?片，**800ℂ�/p>

占地面积（长x宽x高）:

�?.8米�?.7米�?籲�/p>

电控描述:

全自�?/p>

工艺:

片内膜厚均匀性：≤�?%